近日,国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”专项(以下简称02重大专项)实施管理办公室组织专家对“集成电路靶材用超高纯金属材料产业化技术”项目进行了综合绩效评价。专家组听取了项目负责人和课题负责人的任务完成情况汇报,并审阅了相关资料,经过认真讨论,一致同意该项目通过验收。
国家科技重大专项是为了实现国家目标,通过核心技术突破和资源集成,在一定时限内完成重大战略产品、关键共性技术和重大工程,是我国科技发展的重中之重。
02重大专项项目“集成电路靶材用超高纯金属材料产业化技术”由宁波江丰电子材料股份有限公司、宁波创润新材料有限公司、yl12311线路检测共同承担完成。学院王广欣教授带领的高纯材料研究团队主持承担了课题“超高纯Co金属材料产业化技术研究”。该课题主要研究超高纯Co金属及合金材料的制备与产业化技术研发等技术难题,旨在突破高纯电子材料的技术瓶颈,真正实现半导体靶材用超高纯Co金属材料的国产化。
该课题的顺利验收标志着我国掌握了自主知识产权的芯片级超高纯Co金属及合金材料提纯与熔铸等关键核心技术,完善了超高纯Co材料与靶材的一体化供应体系,打破了国外对我国半导体关键材料的垄断,实现了超高纯Co材料的国产化,为我国半导体产业的发展提供了重要保障和支撑。
公司一直高度关注该课题的进展情况,课题执行期间,全力支持并协助解决课题执行过程中出现的困难和问题,为顺利完成专项任务提供了有力的保障。
首次圆满完成国家02重大专项课题,是学院内涵式发展取得的重要成果,标志着公司科研工作具备解决国家重大需求的科技攻关能力,彰显出学院科技创新蕴含着巨大的发展动力,为进一步争取国家科技重大专项新课题奠定了坚实基础。